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加热水洗式

产品特点：99%的处理效率；高安全性；低运行成本；操作简单，维护成本低；plc控制；可选择水循环系统；燃烧反应室可定时自动清洁，超长时间稳定运转；
适用于：适应于：非晶硅薄膜太阳能电池、液晶显示器等pecvd制程、半导体、微电子等行业中蚀刻制程与化学气相沉积制程中产生的废气

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