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加热水洗式
加热水洗式
产品特点:
99%的处理效率;高安全性;低运行成本;操作简单,维护成本 低;plc控制;可选择水循环系统; 燃烧反应室可定时自动清洁,超长时间稳定运转;
适用于:
适应于:非晶硅薄膜太阳能电池、液晶显示器等pecvd制程、半导体、微电子等行业中蚀刻制程与 化学气相沉积制程中产生的废气
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